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              單溫區PE-CVD系統

              單溫區PE-CVD系統

              產品型號: TFE-1200-50-I-220

              所屬分類:TFC化學氣相沉積

              產品時間:2022-03-29

              簡要描述:單溫區PE-CVD系統
              高性能射頻電源.等離子體更穩定;
              滑軌式結構能使整個反應腔室都處于輝光產生區.并可實現快速升溫和降溫功能;
              與傳統CVD相比較.生長溫度更低

              詳細說明:

              單溫區PE-CVD系統

              高性能射頻電源.等離子體更穩定;

              滑軌式結構能使整個反應腔室都處于輝光產生區.并可實現快速升溫和降溫功能;

              與傳統CVD相比較.生長溫度更低






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